激光的最初的中文名叫做“镭射”、“莱塞”，是它的英文名称LASER的音译，是取自英文Light
通过受激发射光扩大”。激光的英文全名已经完全表达了制造激光的主要过程。1964年按照我国著名科学家钱学森建议将“光
1960年7月7日，梅曼宣布世界上第一台激光器由诞生，梅曼的方案是，利用一个高强闪光灯管，来
刺激红宝石。由于红宝石其实在物理上只是一种掺有铬原子的刚玉，所以当红宝石受到刺激时，就会发出一种
红光。在一块表面镀上反光镜的红宝石的表面钻一个孔，使红光可以从这个孔溢出，从而产生一条相当集中的
a.受激吸收（简称吸收）：处于较低能级的粒子在受到外界的激发，吸收了能量时，跃迁到
b.自发辐射：粒子受到激发而进入的激发态，不是粒子的稳定状态，如存在着可以接纳粒子
的较低能级，即使没有外界作用，粒子也有一定的概率，自发地从高能级激发态（E2）向
c.受激辐射（激光）:当频率为=ν（E2-E1）/h的光子入射时，会引发粒子以一定的概率，迅(Xun)
速地从能级E2跃迁到能级E1，同时辐射一个与外来光子频率、相位、偏振态以及传播方向都
要想使受激辐射占优势，必须使处在高能级E2的粒子数大于处在低能级E1的粒子数，这种
分布正好与平衡态时的粒子分布相反，称为粒子数反转分布，简称粒子数反转，实现粒子数反
•工作物质：使受激辐射成为介质中的主导过程，必要条件是在介质中造成离子数反转分布，即使介质激活。例如：
•谐振腔：加强介质中的受激辐射，通常由两块与工作介质轴线垂直的平面或凹球面反射镜构成。
工作介质实现了粒子数反转后就能产生光放大。谐振腔的作用是选择频率一定、方向一致的光作
•激发源：要是工作物质成为激活态，需要外界激励作用。一般(Ban)有光泵式，电激励式，化学式。
，且杂乱无章。为使自发辐射频率单一性(Xing)，就需要有一装置来实现，即
要解决自发辐射，使其呈单一性的方法是只有在工作物质的两侧放置两块反射镜。而
且两块反射镜必须彼此平行，并与工作物质的光轴垂直（见图24）。两个反射镜中
，一个是全反射镜，反射有效率为99.8％，一个是半反射镜。反射率为40％～
60％。谐振腔即指两块反射镜构成的空间。在谐振腔中，初始的光辐射是来自自发
辐射，即处于高能级上粒子自发辐射光子跃迁到低能级。由于这类辐射出来的光子初
相位无规律地向四面八方射出。这种光不是激光。而是像点烯的一个火种——尤如
自发辐射光子不断产生，同时射向工作物质，再激发工作物质产生很多新光子（受激辐射）。光子在
传播中一部分射到反射镜上，另一部分则通过侧面的透明物质跑掉。光在反射镜的作用下又回到工作
物质中，再激发高能级上的粒子向低能级跃迁，而产生新的光子。在这些光子中，不在沿谐振腔轴方
向运动的光子。就不与腔内的物质作用。沿轴方向运动的光子，经过谐振腔中的两个反射镜多次反射
，使受激辐射的强度越来越强。促使高能级上的粒子不断地发出光来。如果光放大到超过光损耗时
（衍射、吸收、散射等损失）产生光的振荡，使积累在沿轴方向的光，从部分反射镜中射出这就形成
在谐振腔的反馈过程中，我们了解到光只能沿谐振腔的轴向传播，因此激光具有很高的方向性。又由
于谐振腔中两个反射镜之间距离不同，光在腔内不断地反射，得到加强。而其它波长的光在腔内很快
被衰减掉，谐振腔就可以选择一固定波长，说明激光具有单色性。而激光的亮度高是由光放大产生的
• 半反射镜：反射75% 的光，只有满足一定直线性，能量和波长的光才能通过，大约25% ；
• Q-Switch ：分X 轴和Y 轴，控制激光输出能量，得到能量较强，持续时间较长的光束；
当激光光束聚焦于几十个微米的目标物上时, 光电或者光热作用引发一系列的化学
键断裂, 发生的时间顺序随着材料的不同而不同。吸收性能较小(Xiao) 的材料需要更多的幅照时间,
在这段时间内材料接收了所传导的热能, 材料受压、熔化, 材料重新固化或者表面材料蒸发, 或者
在碳化之前燃烧。对于吸收性能较好的材料, 材料的蒸发或者粒子的烧蚀会在很短的时间内发生。
在极端的情形下, 发生了爆炸性的相位改变和形成了蒸发材料的冲击波。激光刻蚀薄膜就是选择一
个激光波长, 在这个波长上使被刻蚀的薄膜材料有最大的吸收率, 而薄膜衬底有较大的透过率和反
射率。在薄膜厚度一定的情况下, 激光器的工作功率与刻蚀速度是刻蚀薄膜过程中的关键控制参数