国家知识产权局信息显示,宁波安集微电子科技有限公司申请一项名为“一种清洗液”的专利,公开号CN121825673A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本发明提供了一种清洗液,包括:溶剂、金属腐蚀抑制剂、螯合剂、无机酸或有机酸、缓冲体系及水。本发明提供的技术方案,通过在清洗液中添加金属腐蚀抑制剂和螯合剂,具有较高的铝氧化物/铝氮化物蚀刻速率选择比,保证了铝氧化物的刻蚀速率,同时避免了半导体衬底上选择性刻蚀含氧化物以及灰化后的残留物时,对铝氮化物和存在于衬底上的低K材料造成损伤。
天眼查资料显示,宁波安集微电子科技有限公司,成立于2017年,位于宁波市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本28410万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波安集微电子科技有限公司参与招投标项目15次,专利信息40条,此外企业还拥有行政许可19个。
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